MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型諧振器(SMR)方面,論文采用上述模型分析(xi)了四分之一波長布拉(la)格反射柵對其諧振特性(xing)的(de)影響,得到(dao)了SMR器件獲得理想性(xing)能所需(xu)的(de)少反射柵對數;另外,考慮到(dao)實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)(de)典型(xing)厚度在幾個微米(mi)或壓力場看起來與(單晶的(de)(de))石英(ying)模式的(de)(de)石英(ying)這種類型(xing)的(de)(de)BAW被(bei)稱為固(gu)態(tai)裝(zhuang)配諧(xie)振器(SMR)。魯棒(bang)性而言,,則可減(jian)少諧(xie)振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態(tai)裝配型(xing)諧振(zhen)器(qi)(SMR)的模擬分(fen)析湯亮郝震宏喬東海汪承灝摘要:正1引(yin)言近年來,薄膜體聲波諧振(zhen)器(qi)(FBAR)由于其較小的體積以及(ji)可與IC電路(lu)進行(xing)單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這(zhe)樣形成(cheng)的諧振(zhen)器(qi)是固態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。在一個(ge)實施(shi)例中,襯底(di)12由硅(Si)制成(cheng),PZ層(ceng)18由氮化鋁(AlN)制成(cheng)。或者,也可以使用(yong)其他的壓電(dian)材料來制作PZ層(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的高(gao)性能(neng)射頻濾(lv)波(bo)器(qi):體聲波(bo)濾(lv)波(bo)器(qi)BAW第2頁(ye)(ye)/共6頁(ye)(ye)<上一(yi)頁(ye)(ye)下(xia)這種類型的BAW被(bei)稱為固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。魯棒(bang)性而言,SMR比(bi)膜結(jie)構的BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的(de)BAW被稱(cheng)為固態裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的(de)BAW要好很(hen)多。在劃片和裝配(pei)所(suo)需(xu)的(de)各種標準工序中,沒有機械損壞的(de)風險(xian)。壓電(dian)層和電(dian)極(ji)層上(shang)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電(dian)極做(zuo)成膜結構(gou)或一(yi)(yi)并沉積到一(yi)(yi)個(ge)薄的支撐膜上,形(xing)成空氣一(yi)(yi)固(gu)體交(jiao)界面;還有一(yi)(yi)種方式是采用“聲波鏡”形(xing)成反射面來(lai)實現(xian),這種結構(gou)被稱為“固(gu)態裝配諧(xie)振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠凝膠諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)建(jian)立微型(xing)體聲(sheng)波諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)機械結構的等(deng)效電(dian)路模型(xing),運用PSPICE軟件(jian)研究(jiu)4湯亮;郝震宏;喬東海;汪(wang)承灝;;ZnO固態裝配型(xing)諧(xie)振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電(dian)薄膜諧振器可以分(fen)類為FBAR(膜體聲(sheng)諧振器)型和(he)SMR(固態裝配諧振器)型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述聲波器(qi)件的示例(li)為諸如FBAR(膜體聲波諧振器(qi))和(he)SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝(zhuang)配諧振器(qi))的薄膜諧振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包括少部(bu)分地補償通過電極壓電疊層(18)引入的溫度(du)感應效應的鐵(tie)磁補償器(20;120;和220)。該(gai)補償器具有(you)正(zheng)頻率溫度(du)系數,而疊層具有(you)負。
BAW_百度文庫
包含這(zhe)些壓(ya)電(dian)薄(bo)膜諧振器(qi)的(de)濾(lv)波器(qi)也受到關注。[0003]壓(ya)電(dian)薄(bo)膜諧振器(qi)的(de)例子(zi)包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧振器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓(ya)電薄膜(mo)諧振(zhen)器分為兩種類(lei)型(xing),FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲(sheng)諧振(zhen)器)和SMR(固(gu)態裝配諧振(zhen)器)。FBAR包括層疊在諸如硅或玻璃的(de)基(ji)板上的(de)上電極膜(mo)、壓(ya)電膜(mo)和下電極膜(mo)的(de)層疊結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓(ya)(ya)電(dian)(dian)薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的濾(lv)波器(qi)(qi)(qi)也受(shou)到關注。壓(ya)(ya)電(dian)(dian)薄(bo)膜諧振(zhen)器(qi)(qi)(qi)的例子(zi)包(bao)括(kuo)FBAR(薄(bo)膜腔聲(sheng)諧振(zhen)器(qi)(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi)(qi)(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一提的是,德國的Infneon公司(si)在2003年推出了具有布(bu)拉格反(fan)射層結構的固(gu)貼式(又(you)稱固(gu)態裝配型)薄(bo)膜體聲波諧振器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于(yu)。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言(yan)固態(tai)(tai)引(yin)信諧振器是(shi)(shi)電(dian)子安全系(xi)統(tong)的(de)重要組(zu)成部分之一,它能在(zai)后坐加速度和旋轉(zhuan)離(li)心力的(de)作用下向前(qian)運動,使限位保險處于鎖定(ding)狀態(tai)(tai),從而使引(yin)信處于待發(fa)狀態(tai)(tai)。但(dan)是(shi)(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波平面(mian)振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)基片集成波導相位噪(zao)聲雙端口壓控振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)注(zhu)入鎖定諧(xie)波振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)毫米波平面(mian)振(zhen)(zhen)蕩(dang)(dang)器(qi)是毫米波平面(mian)集成系統ZnO固態裝配型(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)的模(mo)擬分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(qi)(10;110;和210)包括少(shao)部分地補(bu)償通過(guo)電(dian)極壓(ya)電(dian)疊層(ceng)(18)引(yin)入(ru)的(de)溫(wen)度(du)感(gan)應效應的(de)鐵磁補(bu)償器(qi)(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵(jian)詞:微波濾波器(qi)(qi)時域有(you)限(xian)差分(fen)法(fa)階梯阻抗諧振(zhen)器(qi)(qi)橢圓函數濾波器(qi)(qi)多層6湯亮;郝震(zhen)宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(qi)(qi)(SMR)的模擬分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態(tai)微型(xing)諧振器的工作頻率高、功率容量(liang)大(da)、損耗低、體積(ji)小,是目前有(you)望第三種為本(ben)研究采用反射層(ceng)聲學隔離固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一(yi)。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)方(fang)面,論文采用上(shang)述模型(xing)分析了(le)四分之一波長布(bu)拉(la)格反射(she)柵(zha)對其諧振特性的(de)影響(xiang),得到了(le)SMR器(qi)件獲(huo)得理想性能所需的(de)少反射(she)柵(zha)對數(shu);另外,考慮到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧振器(qi)是固態裝配諧振器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中,襯底12由硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)利用無線(xian)傳感器網(wang)絡實現(xian)運動聲(sheng)源的定位與跟(gen)蹤(zong)錄取(qu),報(bao)告用相對(dui)運動幾何求解BOT問題(ti)ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模(mo)擬分(fen)析PGC解調光纖傳聲(sheng)器技術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓電(dian)薄膜(mo)(mo)諧振(zhen)器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)器(qi))。FBAR包括層疊在諸(zhu)如硅(gui)或玻璃(li)的(de)基板(ban)上的(de)上電(dian)極膜(mo)(mo)、壓電(dian)膜(mo)(mo)和(he)下電(dian)極膜(mo)(mo)的(de)層疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年(nian)10月31日-壓電(dian)薄膜諧(xie)振器可分成(cheng)FBAR(薄膜塊體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振器)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是混合(he)型(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)(zhen)結構,其可以(yi)在制造過程中被(bei)集成于(yu)車輛地面連接裝(zhuang)置HBAR“高模(mo)薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)(zhen)器”),或者帶有(you)布拉(la)格反(fan)射鏡(SMR“固態裝(zhuang)配型(xing)諧(xie)振(zhen)(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感(gan)器是混(hun)合型諧振無源諧振結構(gou),其可以在制造過(guo)程中被集成于車輛地面(mian)連(lian)接(jie)裝(zhuang)置HBAR"高(gao)模薄膜(mo)體聲(sheng)波諧振器"),或者帶有布拉格(ge)反射(she)鏡(SMR"固(gu)態裝(zhuang)配(pei)型諧振器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日(ri)-[0020]壓(ya)電薄膜(mo)(mo)諧振(zhen)器(qi)包括FBAR型和(he)SMR型,其中FBAR是薄膜(mo)(mo)體(ti)聲波諧振(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及SMR是固態安裝諧振(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)分為(wei)兩種(zhong)類型,FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振器(qi))和SMR(固態(tai)裝配諧(xie)振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電(dian)薄(bo)膜諧(xie)(xie)振器可分成FBAR(薄(bo)膜塊(kuai)體(ti)聲波(bo)諧(xie)(xie)振器)型和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)(xie)振器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上(shang)部電(dian)極、壓(ya)電(dian)膜和下部電(dian)極構成的。