MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固(gu)態(tai)裝配型(xing)諧(xie)振器(SMR)方面,論文采用上述模型(xing)分析了四(si)分之一(yi)波長布拉格反(fan)射柵對(dui)其諧(xie)振特(te)性的(de)影(ying)響,得到(dao)了SMR器件獲得理想(xiang)性能所需的(de)少反(fan)射柵對(dui)數(shu);另(ling)外,考(kao)慮到(dao)實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓(ya)電層的(de)典型厚度在(zai)幾個微米(mi)或壓(ya)力場(chang)看起來與(單晶的(de))石(shi)英模(mo)式的(de)石(shi)英這種類型的(de)BAW被(bei)稱(cheng)為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒性而言(yan),,則可減少諧振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配(pei)型諧振器(SMR)的(de)模擬分析湯亮郝(hao)震宏(hong)喬東海汪承灝摘要:正(zheng)1引言近(jin)年來,薄(bo)膜體(ti)聲(sheng)波諧振器(FBAR)由于其較小(xiao)的(de)體(ti)積(ji)以及(ji)可與IC電(dian)路進行(xing)單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成(cheng)的(de)諧振器是固(gu)態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。在一個實施例中,襯底12由硅(Si)制(zhi)成(cheng),PZ層18由氮化鋁(AlN)制(zhi)成(cheng)。或者,也(ye)可(ke)以使用其他的(de)壓電材料(liao)來制(zhi)作PZ層18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工藝的(de)高性能射頻濾(lv)波(bo)器(qi)(qi):體聲波(bo)濾(lv)波(bo)器(qi)(qi)BAW第2頁/共6頁<上一頁下這種類型的(de)BAW被稱為固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)。魯(lu)棒性而(er)言,SMR比膜(mo)結構的(de)BAW要(yao)好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型(xing)的BAW被(bei)稱為固態裝配諧振(zhen)器(SMR)。魯棒(bang)性(xing)而言,SMR比膜結構(gou)的BAW要好(hao)很多。在劃片和裝配所需的各種標準工序中,沒有機械(xie)損壞的風險(xian)。壓電層(ceng)(ceng)和電極層(ceng)(ceng)上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成膜結(jie)構或一(yi)并沉積到一(yi)個薄的支撐膜上,形成空氣一(yi)固(gu)體交界(jie)面(mian)(mian);還有一(yi)種方式是(shi)采用“聲波(bo)鏡(jing)”形成反射(she)面(mian)(mian)來實(shi)現,這種結(jie)構被稱為“固(gu)態裝配諧振器(qi)(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯(gao)鈦酸鉛溶(rong)膠凝膠諧(xie)振(zhen)器建立微型(xing)體聲(sheng)波諧(xie)振(zhen)器機(ji)械(xie)結構的等效電路模型(xing),運用PSPICE軟件(jian)研究4湯(tang)亮;郝(hao)震(zhen)宏;喬東海(hai);汪承灝;;ZnO固態裝配(pei)型(xing)諧(xie)振(zhen)器(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜(mo)諧振器可以分(fen)類為FBAR(膜(mo)體(ti)聲諧振器)型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧振器)型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上述(shu)聲波(bo)器(qi)件的(de)示例為諸如FBAR(膜體聲波(bo)諧(xie)振器(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧(xie)振器(qi))的(de)薄膜諧(xie)振器(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括(kuo)少部分地(di)補(bu)償通過電極(ji)壓電疊層(ceng)(18)引入的溫(wen)度(du)感應效應的鐵磁補(bu)償器(20;120;和(he)220)。該補(bu)償器具(ju)有正(zheng)頻率溫(wen)度(du)系數(shu),而(er)疊層(ceng)具(ju)有負(fu)。
BAW_百度文庫
包(bao)含(han)這些壓電薄膜諧振器(qi)(qi)(qi)的(de)濾波器(qi)(qi)(qi)也受到關注(zhu)。[0003]壓電薄膜諧振器(qi)(qi)(qi)的(de)例子包(bao)括FBAR(薄膜腔聲諧振器(qi)(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和SMR(固態裝配諧振器(qi)(qi)(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)(shang)述壓(ya)電薄(bo)膜諧(xie)振器分(fen)為(wei)兩種類型(xing),FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振器)和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振器)。FBAR包括層(ceng)(ceng)疊在(zai)諸如硅(gui)或玻璃的(de)基板(ban)上(shang)(shang)的(de)上(shang)(shang)電極(ji)膜、壓(ya)電膜和下電極(ji)膜的(de)層(ceng)(ceng)疊結構(gou)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含這些(xie)壓(ya)電(dian)薄膜(mo)諧振器(qi)的濾波器(qi)也受(shou)到關注。壓(ya)電(dian)薄膜(mo)諧振器(qi)的例子(zi)包括FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固態裝配諧振器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外值得一(yi)提(ti)的(de)是,德國(guo)的(de)Infneon公司在2003年推出了具(ju)有布(bu)拉格反射(she)層結構(gou)的(de)固貼式(又稱固態(tai)裝配型)薄膜體聲波(bo)諧(xie)振器(SMR-FBAR)[9-10].而我(wo)國(guo)關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言(yan)固態引信諧振器是電子(zi)安全系統的重要(yao)組成部分之一(yi),它能在(zai)后(hou)坐加(jia)速度和旋轉離心力的作用下(xia)向前運動,使(shi)限(xian)位保險處(chu)于(yu)鎖定(ding)狀(zhuang)(zhuang)態,從而使(shi)引信處(chu)于(yu)待發狀(zhuang)(zhuang)態。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波(bo)(bo)平面振蕩(dang)器(qi)基(ji)片集成波(bo)(bo)導相位噪(zao)聲雙端口壓控振蕩(dang)器(qi)注入鎖定(ding)諧(xie)(xie)波(bo)(bo)振蕩(dang)器(qi)毫米波(bo)(bo)平面振蕩(dang)器(qi)是毫米波(bo)(bo)平面集成系統ZnO固態裝配型(xing)諧(xie)(xie)振器(qi)(SMR)的(de)模擬(ni)分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和210)包括少部分地補償通(tong)過電(dian)極壓電(dian)疊層(18)引入的溫度感應效應的鐵(tie)磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微波濾(lv)波器時(shi)域有限差分(fen)法階梯阻(zu)抗諧振器橢圓(yuan)函(han)數濾(lv)波器多層6湯亮;郝震宏;喬(qiao)東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分(fen)析(xi)[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固(gu)態微型(xing)諧振器(qi)的工作頻率(lv)高(gao)、功率(lv)容量(liang)大、損耗(hao)低、體積小,是目前有望第三種為本(ben)研(yan)究采用(yong)反射層聲(sheng)學隔(ge)離(li)固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型諧振器(SMR)方面,論文采用上述模(mo)型分析了(le)四分之一波長(chang)布拉格反射柵對其諧振特(te)性的影響,得到了(le)SMR器件(jian)獲(huo)得理(li)想性能所需的少(shao)反射柵對數;另外(wai),考(kao)慮到實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧(xie)振(zhen)器(qi)是固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個(ge)實施例(li)中,襯底(di)12由硅(Si)制(zhi)成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無(wu)線(xian)傳感器(qi)網絡實現運動聲(sheng)源的(de)定位(wei)與(yu)跟蹤錄(lu)取,報告用相對運動幾何(he)求解BOT問題ZnO固態(tai)裝配(pei)型諧振器(qi)(SMR)的(de)模擬(ni)分(fen)析PGC解調光(guang)纖傳聲(sheng)器(qi)技術的(de)討論(lun)一(yi)種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上(shang)述壓電(dian)(dian)薄膜(mo)諧振器(qi)(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲諧振器(qi)(qi))和SMR(固(gu)態裝配諧振器(qi)(qi))。FBAR包括(kuo)層疊(die)在諸如硅(gui)或玻璃(li)的(de)(de)基板上(shang)的(de)(de)上(shang)電(dian)(dian)極膜(mo)、壓電(dian)(dian)膜(mo)和下電(dian)(dian)極膜(mo)的(de)(de)層疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日(ri)-壓(ya)電薄(bo)膜諧振器(qi)可分成(cheng)FBAR(薄(bo)膜塊體(ti)聲波諧振器(qi))型(xing)(xing)和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該(gai)傳感器是混合型諧(xie)振無(wu)源諧(xie)振結構,其可以在制造(zao)過程中被集成于(yu)車輛地(di)面(mian)連接裝置(zhi)HBAR“高模薄膜(mo)體聲波諧(xie)振器”),或者(zhe)帶有布(bu)拉格反射鏡(SMR“固態裝配型諧(xie)振。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型諧振無源諧振結構,其(qi)可以在制造過(guo)程中被集(ji)成(cheng)于車輛地面連接裝置HBAR"高模薄膜體聲波諧振器"),或者帶有布(bu)拉格(ge)反射鏡(SMR"固態裝配型諧振器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓(ya)電薄膜諧振器包括FBAR型和SMR型,其(qi)中(zhong)FBAR是薄膜體聲波(bo)諧振器(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫,以及SMR是固態安裝諧振器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月(yue)5日-將上述壓電(dian)薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)分為兩(liang)種(zhong)類(lei)型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振(zhen)器(qi))和SMR(固態裝配諧振(zhen)器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電(dian)薄膜諧振器(qi)可分(fen)成(cheng)FBAR(薄膜塊體聲波諧振器(qi))型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧振器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具(ju)有由上部電(dian)極(ji)、壓(ya)電(dian)膜和下(xia)部電(dian)極(ji)構(gou)成(cheng)的。