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微(wei)波碳化(hua)(hua)硅烘干(gan)設備(bei)(bei)是我公司研發、生產的化(hua)(hua)工(gong)烘干(gan)設備(bei)(bei)之一(yi)。其具有烘干(gan)速度快(一(yi)般幾分鐘可完成(cheng)烘干(gan)過(guo)程)、時(shi)間短、實(shi)現流水(shui)化(hua)(hua)。

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有研究者以Al2O3為添加劑,通過熱壓(ya)燒結工(gong)藝,也實(shi)現了碳化硅的致密(mi)化,并(bing)認為其機理是液相燒結。此外,還有研究者分別以B4C、B或B與C,Al2O3和(he)C、Al2O3和(he)Y2O3。

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2008年12月(yue)29日-西安理工(gong)大學承擔的陜(shan)西重大科技創新項目“大直徑碳化硅(gui)晶體(ti)生長工(gong)藝及設備(2005ZKC05-02)”于2008年12月(yue)24日通過驗收(shou)。由陜(shan)西省科學技術(shu)廳會(hui)同省。

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2006年7月(yue)6日-西安理工(gong)(gong)(gong)大學(xue)電子工(gong)(gong)(gong)程系陳治明教(jiao)授承(cheng)擔的陜西省重大科技創新項目“大直徑(jing)碳(tan)化(hua)硅晶(jing)體生(sheng)長工(gong)(gong)(gong)藝及設備”進展順(shun)利,目前已(yi)用該課題組自行研制、具有自主(zhu)知(zhi)識產(chan)權。

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陜西重大科技創新項目“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”通過驗收

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陜西省重大科技創新項目:我校“大直徑碳化硅晶體生長工藝及設備”

[摘(zhai)要]一種制(zhi)造單晶(jing)碳化硅薄膜(mo)的(de)設(she)備,包括適于接受成膜(mo)用的(de)SOI基材(cai)100的(de)成膜(mo)利用本發明(ming)的(de)方(fang)法制(zhi)備碳化硅納米(mi)棒,其工藝實(shi)施簡單、易于大批量生產(chan)、制(zhi)備溫度低。

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