鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢電(dian)極研(yan)(yan)磨(mo)工藝(yi)機械化焊(han)接(jie)電(dian)極頭表面(mian)粗(cu)糙度焊(han)接(jie)工藝(yi)研(yan)(yan)磨(mo)機幾何(he)形狀研(yan)(yan)磨(mo)砂輪焊(han)縫質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種減少鎢(wu)化(hua)學機械研磨微刮痕的(de)工藝,提(ti)供一半導體基底,其制作鎢(wu)插塞的(de)主要步驟(zou)有光阻涂布、微影(ying),蝕刻。
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黝圖1-6銅化(hua)學(xue)機械拋(pao)光工藝(yi)流程圖1-7雙(shuang)嵌(qian)入(ru)形成鎢插塞和(he)局部互連1.3鎢鑲嵌(qian)圖3—2拋(pao)光速(su)率,均(jun)勻(yun)性(xing)和(he)研(yan)磨(mo)臺轉速(su)的(de)依存(cun)性(xing)(32藝(yi)條件拋(pao)光頭壓力-250hap;。
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