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硅錳(meng)冶煉(lian)(lian)渣(zha)簡(jian)稱(cheng)硅錳(meng)渣(zha),是冶煉(lian)(lian)硅錳(meng)合金(jin)(jin)(jin)的過程中(zhong)產生的固體廢渣(zha),由于冶煉(lian)(lian)工藝的限制,硅錳(meng)冶煉(lian)(lian)渣(zha)中(zhong)含有一定量的硅錳(meng)合金(jin)(jin)(jin),尤其(qi)是硅錳(meng)干渣(zha),其(qi)中(zhong)的硅錳(meng)合金(jin)(jin)(jin)含量較(jiao)高,。
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八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善-收費碩士博士論文-
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本發明(ming)公開了一種化(hua)學(xue)機(ji)械研(yan)磨(mo)工藝的優化(hua)方(fang)法,該方(fang)法包括(kuo):A、提供(gong)一實(shi)驗樣(yang)品(pin),并按照當前的化(hua)學(xue)機(ji)械研(yan)磨(mo)CMP工藝參(can)數對實(shi)驗樣(yang)品(pin)進行CMP工藝后,采用等(deng)離(li)子(zi)體增強化(hua)學(xue)氣相(xiang)。
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